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技術(shù)文章/ article
在所有的清洗方式中,進(jìn)口晶圓清洗機(jī)是效率zui高、效果的一種,之所以超聲波清洗能夠達(dá)到如此的效果,是與它*的工作原理和清洗方法密切相關(guān)的。我們知道,在生產(chǎn)和生活當(dāng)中,需要清潔的東西很多,進(jìn)口晶圓清洗機(jī)需要清洗的種類(lèi)和環(huán)節(jié)也很多,如:物件的清除污染物,疏通細(xì)小孔洞,常見(jiàn)的手工清洗方法對(duì)異型物件以及物件隱蔽處無(wú)疑無(wú)法達(dá)到要求,即使是蒸汽清洗和高壓水射流清洗也無(wú)法滿(mǎn)足對(duì)清潔度較高的需求,超聲波清洗對(duì)物件還能達(dá)到殺滅細(xì)菌、溶解有機(jī)污染物、防止過(guò)腐蝕等,因此,進(jìn)口晶圓清洗機(jī)被日益廣泛應(yīng)...
在眾多半導(dǎo)體工藝中,刻蝕是決定特征尺寸的核心工藝技術(shù)之一。刻蝕分為濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕采用化學(xué)腐蝕進(jìn)行,是傳統(tǒng)的刻蝕工藝。它具有各向同性的缺點(diǎn),即在刻蝕過(guò)程中不但有所需要的縱向刻蝕,也有不需要的橫向刻蝕,因而精度差,線寬一般在3um以上。RIE-PE刻蝕機(jī)是因大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要而開(kāi)發(fā)的精細(xì)加工技術(shù),它具有各向異性特點(diǎn),在zui大限度上保證了縱向刻蝕,還可以控制橫向刻蝕。介紹的RIE-PE刻蝕機(jī)就是屬于干法ICP刻蝕系統(tǒng)。RIE-PE刻蝕機(jī)為了適應(yīng)工藝發(fā)展需求,各...
微波等離子清洗機(jī)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。微波等離子清洗機(jī)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)...
繼NANO-MASTER*技術(shù)的帶淋浴頭氣流分布的平面ICP離子源應(yīng)用于NANO-MASTER的刻蝕系統(tǒng),ICPECVD沉積系統(tǒng),PA-MOCVD生長(zhǎng)系統(tǒng)之后,該ICP離子源順利應(yīng)用于ALD系統(tǒng)。由于該型技術(shù)設(shè)計(jì)的ICP源為平面設(shè)計(jì)的遠(yuǎn)程等離子源,可以在更低電源下達(dá)到更高的離子密度,具有電子溫度低、離子密度高、腔體空間占比低等優(yōu)勢(shì),確保了該ALD系統(tǒng)具有薄膜無(wú)損傷、生長(zhǎng)速度快、脈沖周期短(沉積效率可以達(dá)到兩倍以上)的先進(jìn)性能。此外,可以實(shí)現(xiàn)低溫(100度以?xún)?nèi))的薄膜生長(zhǎng)。
微波等離子清洗機(jī)技術(shù)在橡塑行業(yè)的應(yīng)用已非常成熟,其相關(guān)產(chǎn)值逐年增加,國(guó)外市場(chǎng)比國(guó)內(nèi)市場(chǎng)產(chǎn)值高,但國(guó)內(nèi)可發(fā)展空間大,應(yīng)用前景誘人。經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,人們的生活水平不斷提高,對(duì)消費(fèi)品的質(zhì)量要求也越來(lái)越高,微波等離子清洗機(jī)技術(shù)隨之逐步進(jìn)入生活消費(fèi)品生產(chǎn)行業(yè)中;另外,科技的不斷發(fā)展,各種技術(shù)問(wèn)題的不斷提出,新材料的不斷涌現(xiàn),越來(lái)越多的科研機(jī)構(gòu)已認(rèn)識(shí)到等離子技術(shù)的重要性,并投入大量資金進(jìn)行技術(shù)攻關(guān),微波等離子清洗機(jī)技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應(yīng)用范圍會(huì)越來(lái)越廣;技術(shù)的成熟...
微波等離子清洗機(jī)優(yōu)勢(shì):一、清洗對(duì)象經(jīng)微波等離子清洗機(jī)之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序??梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率。二、微波等離子清洗機(jī)使得用戶(hù)可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害,同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題;三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性。四、微波等離子清洗機(jī)采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體...
RIE-PE刻蝕機(jī)其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí),會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。RIE-PE刻蝕機(jī)是在濕法腐蝕技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,屬于純化學(xué)性腐蝕。這種方法腐蝕均勻性好、損傷小,缺點(diǎn)是各向刻蝕同性,對(duì)于1μm以下的細(xì)線條線寬損失明顯。所以,在等離子刻蝕的基礎(chǔ)上改進(jìn)反應(yīng)結(jié)構(gòu)和接電方式,出現(xiàn)了反應(yīng)離子刻蝕。該方法加快了縱向的腐蝕速度,具有各向異性的腐蝕...
無(wú)論是無(wú)機(jī)材料還是有機(jī)材料制成的眼鏡片,在日常的使用中,由于與灰塵或砂礫(氧化硅)的摩擦都會(huì)造成鏡片磨損,在鏡片表面產(chǎn)生劃痕。與玻璃片相比,有機(jī)材料制成的硬性度比較低,更易產(chǎn)生劃痕。通過(guò)顯微鏡,我們可以觀察到鏡片表面的劃痕主要分為二種,一是由于砂礫產(chǎn)生的劃痕,淺而細(xì)小,戴鏡者不容易察覺(jué);另一種是由較大砂礫產(chǎn)生的劃痕,深且周邊粗糙,處于中心區(qū)域則會(huì)影響視力。1、*代光學(xué)鍍膜系統(tǒng)技術(shù)抗磨損膜始于20世紀(jì)70年代初,當(dāng)時(shí)認(rèn)為玻璃鏡片不易磨制是因?yàn)槠溆捕雀?,而有機(jī)鏡片則太軟所以容易磨...