RIE-PE刻蝕機其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
RIE-PE刻蝕機是在濕法腐蝕技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,屬于純化學性腐蝕。這種方法腐蝕均勻性好、損傷小,缺點是各向刻蝕同性,對于1μm以下的細線條線寬損失明顯。所以,在等離子刻蝕的基礎(chǔ)上改進反應(yīng)結(jié)構(gòu)和接電方式,出現(xiàn)了反應(yīng)離子刻蝕。該方法加快了縱向的腐蝕速度,具有各向異性的腐蝕特點。
RIE-PE刻蝕機的主要優(yōu)勢:
1、超凡的印刷體字符打印效果
2、高可靠性:無需消耗品以及經(jīng)久考驗的二氧化碳激光管技術(shù)
3、無論對靜止物品還是高速生產(chǎn)線上,噴碼效果一樣出色
4、信息打印方向無限制
5、可打印出各種類型的圖形
6、zui少量的維護工作以及對環(huán)境無礙
RIE-PE刻蝕機的工作原理:
RIE-PE刻蝕機是用離子轟擊工件并把能量轉(zhuǎn)換到工件表面,從表面移出一個或多個原子的一種加工方式。即從離子源把離子引入到真空室中,離子平行且被加速地照射到工件上,從工件表面移出原子。在理想情況下,一個離子從表面移出一個原子,而不干擾任何鄰近的原子。
離子刻蝕機由真空加工室、離子束發(fā)生器、離子引出和加速系統(tǒng)、離子中和器、束流檢測檔板、真空系統(tǒng)、供氣及其控制系統(tǒng)、電源裝置、計算機控制系統(tǒng)等主要部件組成。
RIE-PE刻蝕機的主要性能特點:
1、系統(tǒng)由計算機控制,通過觸摸屏操作,參數(shù)設(shè)置靈活,可控性好;
2、采用特別技術(shù)離子束產(chǎn)生器,能量可控,適用不同產(chǎn)品蝕刻、拋光、減薄等形式加工,產(chǎn)品加工均勻性好;
3、*的柵網(wǎng)設(shè)計,保證束流的均勻性和穩(wěn)定性,產(chǎn)品加工一致性和重復(fù)性好;
4、對材料無選擇性,任何固體材料都可加工;
5、工件加工角度可在0°~90°之間任意變化;
6、6×10-6mbar無油超真空系統(tǒng),保證系統(tǒng)在5×10-5~2×10-4 mbar的工作壓力下穩(wěn)定工作;
7、工藝安全,無污染。系統(tǒng)操作維護簡單,運行成本低。